CIF公司推出的CPC系列生产型等离子清洗机是专为研发型客户和工业级客户设计的等离子表面处理设备。该设备配置丰富，真空腔体可分层，非常适合各种生产场景。可用于等离子清洗、活化、刻蚀等多种应用，设备能在严苛环境下稳定运行，产品稳定，样品处理的重复性一致性好。

产品特点：

u PLC工控机控制整个清洗过程，实时参数状态直观显示。

u 整个清洗过程全自动进行。

u 处理高效均匀，效率高，工艺重复性好。

u 标配双路气体输送系统，可选多气路气体输送系统，气体分配均匀。可输入氧气、氩气、氮气、四氟化碳、氢气或混合气体。

u 合理的结构设计，设备占用空间小。

u 可处理各种材质、形状、尺寸样品。

u 样品处理温度低，无热损伤和热氧化。

u 使用成本低、耗损小。

u 产品性能稳定，安装与维护简便方便。

技术参数：

型号：CPC-80、CPC-120、CPC-150

舱体尺寸：W400xH400xD500mm、W500xH500xD450mm、W500xH500xD600mm

舱体容积：80L、120L、150L

有效尺寸：W400xD450、W500xxD400、W500xxD550mm

电极分布：6层、8-10层、10-15层

射频电源：13.56MHz，0-600W（可选装40KHz，0-2000W）、13.56MHz，0-1000W（可选装40KHz，0-2000W）、3.56MHz，0-1000W（可选装40KHz，0-2000W）

匹配器：自动匹配器

电流：1.2A

时间设定：1-99分59秒

气体稳定时间：1分钟

真空度：100pa以内

激发方式：电容式

控制系统：7寸PLC触摸屏控制

工艺气体：2气路MFC（可选装3路）

真空泵抽速：约40m3/h、约60m3/h、约60m3/h

电源：AC380V50-60Hz、AC380V50-60Hz、AC380V50-60Hz