产品特点：
◆ 新配置的专用“慢充”控制，提供理想的二氧化碳流体动力学，保护易脆样品；
◆ 外部配置了PURGE后的过滤装置，保护样品，易更换和后期维护；
◆ 采用独家专利的“VortexSwirl”非机械搅拌，使PURGE完整不破坏样品；
◆ 高效内部封闭冷却循环系统，快速冷却腔体温度，缩短操作时间；
◆ 内置SOTER冷凝器，分离废弃乙醇和废气，消除排气噪音；
◆ 独特的样品室填块，改变样品室直径，减少液态二氧化碳消耗和处理时间，并兼容不同尺寸晶圆；
◆ 内部过滤系统，过滤进样品室的液态二氧化碳，过滤颗粒最低尺寸达到0.08μm；
◆ 一次运行可处理5片6英寸晶圆，改变样品室尺寸，每次运行也可分别处理4英寸、3英寸、2英寸晶圆及10mm方晶；
◆ 标配特氟龙兼容的6英寸、4英寸、3英寸、2英寸晶圆样品架和10mm方晶样品架各1个；
◆ 垂直样品室，内有照明，样品室盖子带观察窗；
◆ 明亮的LCD触屏控制；
◆ 内置出厂自动运行程序及可创建和保存个性化程序；
◆ 所有内部表面适用于CO2、丙酮和超纯乙醇；
◆ 可重复设置参数，确保结果可重复性；
◆ 集成自动控温和静态压力控制模块，确保安全运行；
◆ 洁净室和防静电兼容设计；
◆ 所有电气部件符合UL、CE和U.S.Military标准；

产品规格：
◆ 外部尺寸：宽19.8”(50.3cm)×深31.7”(80.6cm)×高44.5”(113.0cm)；
◆ 安装占地尺寸：宽27”(68.6cm)×深38”(96.5cm)；
◆ 样品室尺寸：内径6.5”×深1.25”，样品室容积：679ml;
◆ LCO2流速通过带游标卡尺的微型计量阀门控制；
◆ 120V/50-60HZ(可选其他电压)；

标准配件：
◆ 高压不锈钢LCO2管（内衬Teflon）3米长；
◆ 双T型过滤装置，过滤微小颗粒，过滤装置可预先与LCO2管连接，安装方便；
◆ 安装工具；
◆ 防静电排气管，用于PURGE/VENT/BLEED和COOL时的排气；
◆ 样品室O型圈3个，样品室LED照明灯1个，3A和8A保险丝各2个；
◆ 4个Teflon样品室填块,使得样品室直径包括6、4、3、2和1.25英寸;
◆ 直径为6、4、3、2英寸晶圆样品架和边长为10mm方晶样品架各1个,样品架HF兼容；
◆ 用户手册；