Automegasamdri-934,SeriesC产品特点：

◆新配置的专用“慢充”控制，提供理想的二氧化碳流体动力学，保护易脆样品；

◆外部配置了PURGE后的过滤装置，保护样品，易更换和维护；

◆独家专利的“VortexSwirl”非机械搅拌，使PURGE完全不损样品；

◆高效内部封闭冷却循环系统，可快速冷却腔体温度，缩短操作时间；

◆内置SOTER冷凝器，分离废弃乙醇和废气，消除排气噪音；

◆独特的样品室填块，可改变样品室直径，减少液态二氧化碳消耗和处理时间，兼容不同尺寸晶圆处理；

◆内部过滤系统，过滤流进样品室的液态二氧化碳，过滤颗粒最低尺寸达0.08μm；

◆一次可处理5片4英寸晶圆，改变样品室尺寸，每次运行也可分别处理3英寸、2英寸晶圆及10mm方晶；

◆标配特氟龙兼容的4英寸、3英寸、2英寸晶圆样品架和10mm方晶样品架各1个；

◆垂直样品室，内腔有照明，样品室盖子带观察窗；

◆明亮的LCD触屏控制；

◆内置出厂自动运行程序并可创建和保存个性化程序；

◆所有内部表面适用于CO2，丙酮和超纯乙醇；

◆可重复设置的参数，保证结果的可重复性；

◆集成自动控温和静态压力控制模块，确保自动、安全运行；

◆洁净室和防静电兼容设计；

◆所有电气部件符合UL、CE和U.S.Military标准；

产品规格：

◆外部尺寸：宽19.8”(50.3cm)×深31.7”(80.6cm)×高44.5”(113.0cm)；

◆安装占地尺寸：宽27”(68.6cm)×深38”(96.5cm)；

◆样品室尺寸：内径4.5”×深1.25”，样品室容积：326ml；

◆LCO2的流速是通过带游标卡尺的微型计量阀门来控制；

◆120V/50-60HZ(可选其他电压)；

标准配件：

◆高压不锈钢LCO2管（内衬Teflon）3米长；

◆双T型过滤装置，双重过滤微小颗粒，过滤装置可预先与LCO2管连接，安装方便；

◆安装工具；

◆防静电排气管，用于PURGE/VENT/BLEED和COOL时的排气；

◆样品室O型圈3个，样品室LED照明灯1个，3A和8A保险丝各2个；

◆3个Teflon样品室填块,使得样品室直径包括4、3、2和1.25英寸；

◆直径为4、3、2英寸晶圆样品架和边长为10mm方晶样品架,样品架HF兼容；

◆用户手册；