技术参数：

■油旋片式真空泵

型式排气速度 L/min 到达压力 Pa

GLD-0515 06.7×10-2

GLD-136A 1356.7×10-2

GLD-201A 2006.7×10-2

GHD-0303 06.7×10-2

G-100D 1206.7×10-2

GVD-050A 506.7×10-2

特点：高性能型，极限真空度低

适用范围：科学与化学实验、分析仪器，真空干燥系统，冷冻干燥系统，溅射系统与蒸发系统，涡轮分子泵或低温泵的前级泵

■膜片型干式真空泵

型式排气速度 L/min 到达压力 Pa

DA-20D 205.3×103

DA-40S 4019.9×103

DAL-5S 524.0×103

DAL-5D 56.65×103

DAL-10S 1024.0×103

DA-60S 6021.3×103

特点：无油排气清洁，设计紧凑，噪音低，易保养

适用范围：科学分析装置，晶片处理系统，零件处理系统，自动包装机器，真空夹盘，手柄、探头

■涡旋型干式真空泵

型式排气速度 L/min 到达压力 Pa

DVS-321 265≤1.5

DVS-631 525≤1

DIS-090 905

DIS-250 250 1.6

DIS-500 500 1

特点：无油，极限真空度低，无需油的保养，节省能源

适用范围：真空干燥，真空包装，锁定负载排气，涡轮分子泵或低温泵的前级泵