产地：日本； 品牌：日立
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ECHO Pro™ 全自动超声波扫描显微镜
全自动生产型:
● 批量 Tray盘和框架直接扫瞄● 编程自动判别缺陷● 高产量,无需人员重复设置● 自动烘干SONIX 硬件优势● 紧凑、稳定的结构设计 模块化设计使得结构简单、稳定，易于维护● 高速、稳定的马达设计 扫描轴采用最先进的线性伺服马达，提供高速、稳定、无磨损的扫描● 专利的超声波探头/透镜 提供精确的缺陷检验，最小能探测到仅0.1微米厚度的分层。● PETT技术 反射及透射同时扫描，有效提高元器件分析效率
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产品描述
