微波材料学工作站--微波能化学气相沉积系统

主要用途：

主要为应用在半导体, 大范围的绝缘材料，大多数金属材料和金属合金材料，石墨烯、纳米材料、碳纤维、碳化硅、镀膜等新材料新工艺领域

产品特点：

★操作便捷：气路连接方式采用了KF快速连接法兰结构，使取放物料过程简化，只需一支卡箍便可完成气路连接，方便操作，取消了复杂的法兰安装过程，减少了安装造成的损坏

★多功能：3种加热方式可选可变：纯微波、传统电加热、混合加热；适应包括金属与合金在内非易燃的任何样品的热处理

★独家开发的微波场专用传感器，精准控温

★安全：独家采用防止泄漏的四级联锁的保护屏蔽措施安全可靠的微波屏蔽腔体设计，多重防泄漏保护

*标配装有专业微波抑制器

*内置微波泄漏传感器

★节能：使用寿命长：磁控管微波加热，避免和解决了传统的加热丝、硅碳棒、硅钼棒等加热元件容易损坏的问题，也避免了因加热元件损坏而造成的时间、实验进度、维修费用等各种损失

★采用无级可调、高稳定度长寿命、连续波微波源，确保设备能够连续稳定长时间运行

★嵌入式微机一体化温度控制系统；实现稳定性控温

★无须烘炉过程：炉腔整体自身发热，加热均匀

★微波能量即开即有,无热惯性,易于控制温度

★炉体配有自动冷却风扇

★保护管采用耐高温合金管，气管采用卡套或VCR接口，安装简便

★配有万向轮调节底脚，方便移动和固定

选配功能：

1.多温区独立加热模块：型号后面加Ｄ　　　

◆多个不同温区独立加热、独立控制，（标配 2 个温区）

◆两个以上温区可额外选配

◆通常用于高温下气相或挥发分参与的材料合成

◆加热区、恒温区长度均可调。

2.可根据用户需求定制立式或其他尺寸

技术参数：