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YAMATO雅马拓等离子清洗机 YSP600U/2KU
面议参考价
YAMATO雅马拓等离子清洗机 YSP600U/2KU
PIPES指数:7.5用户:应用:

型号型号: YSP600U/2KU

品牌品牌:雅马拓

产地产地:日本

柜谷科技发展(上海)有限公司

白银会员 白银会员
核心参数
产地: 亚洲
供应商性质: 区域代理
产地类别: 进口
仪器种类:
价格范围: 20万-30万
等离子体表面处理仪产品推荐
产品描述

样品传输系统为模块式,便于组合
用途
●  提高各种材料的粘接性、表面改质处理
●  清洗各类基板。
●  电子部品、材料表面改质。
●  去除有机物和自然氧化膜。

特点
●  体积小,节省空间。
●  选用小型腔体,反应效率高。
●  更容易嵌入生产线使用。
●  可通过操作面板自由切换等离子模式。
●  配备冷却反应台。

内槽


技术规格

型号

YSP600U

YSP2KU

模式

RIE(DP模式选购)


高频输功率

600W

2000W

反应台尺寸

W300×D300mm

W600×D600mm

反应气体

2进气系统(氧气、氩气)


反应气体流量控制

质量流量控制器


气体导入口

反应气体2个、填充气体1个、空气1个



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