SmartScan™可提供一个独立便捷的绘图编辑器

[硅上的圣诞球光刻]

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Park SmartScan™所支持的SmartLitho模式

设计

压电力显微镜双信号

3D图像

[压电陶瓷上光刻的太极标志]

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Park SmartLitho™

Park SmartScan™ 的友好型界面支持用户进行纳米光刻和纳米操作

SmartScan 可以自动进行成像所需的所有操作，并智能地确定最佳的图像质量和扫描速度。 Park的专有技术实现了SmartScan的自动化测量。可以帮助用户在最短时间内获得最佳的实验成果。

最简易的纳米光刻和纳米操作的智能化软件

由SmartScan所支持的Park SmartLitho功能，基于原子力显微镜平台，可实现对材料，电气和电子设备，纳米技术和其他研究领域进行纳米光刻和纳米操作。

Park SmartLitho软件具有多种光刻模式，支持矢量模式和光栅模式，在SmartScan平台上运行，它的友好型操作界面为用户提供了独立便捷的图形编辑器。