WLI: 白光干涉测量是一种光学技术,它可以对非常宽的区域进行成像,速度非常快,满足高吞吐量测量。
AFM: 原子力显微镜是一种扫描探针技术,即使对透明材料也能提供最精确的纳米级分辨率测量。
扫描区域 | 速度 | 横向分辨率 | 垂直分辨率 | 精度 | |
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WLI | 大 | 快 | 低 | 高 | 低 |
AFM | 小 | 慢 | 高 | 非常高 | 高 |
WLI和AFM在视野,分辨率和速度方面完美结合。
先进的化学机械抛光计量和监测
先进封装
全掩模的热点和缺陷检测
晶圆级计量
In-line 晶圆计量
长行程CMP轮廓表征
亚埃级表面粗糙度控制
晶圆检验与分析
Park WLI支持WLI和PSI模式(PSI模式由电动过滤器变换器 支持)
可用物镜放大倍数:2.5X 、10X、20X、50X、100X
两个物镜可由电动线性换镜器自动更换
扫描 Mirau 物镜高度时,由干涉引起的光强变化可以计算每个像素处的样品表面高度
白光干涉测量 (WLI) 和相移干涉测量 (PSI) 是两种常用的表面表征技术
可以通过比较参考和目标样品区域的图像来检测图案结构的热点
WLI 的高速“热点检测”可以快速定位缺陷位置,以进行高分辨率 AFM 审查