Automatic Defect Review for Media and Substrates

Higher Throughput, Automatic Defect Review

NX-HDM的自动缺陷检查功能(Park ADR)可加速和改良媒介和基体缺陷的识别、扫描和分析流程。借助光学检查工具所提供的缺陷位置图，Park ADR可自动定位这些位置并进行成像（分两步）：
(1) 缩小扫描成像，以准确定位缺陷。
(2) 放大扫描成像，以获取缺陷的细节。在真实缺陷测试中，我们可以看到相比于传统的方法，该自动功能可将缺陷检查通量提高10倍。

Automated Search Scan & Zoom-in Scan

经过优化的扫描参数让两步式扫描更为快速：
(1) 快速的低分辨率搜寻式扫描，来准确定位缺陷。
(2) 高分辨率的放大扫描，来获取缺陷的细节。可调节的扫描尺寸和扫描速度参数能满足用户的所有需求。

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Automatic Transfer and Alignment of Defect Maps to AFM

借助专有的先进映射算法，从自动光学检测(APO)工具中获取的缺陷坐标图可准确地传入和映射至Park NX-HDM。该技术让全自动高通量缺陷成像成为可能。

Map of Defect Coordinates from an Optical Inspection Tool

Accurate Sub-Angstrom Surface Roughness Measurement

Sub-Angstrom, Surface Roughness Measurement

业内对于超平面介质和基底的要求越来越高，所以需要满足设备体积不断减小的需求。此外，Park NX-HDM拥有精准的次埃米表面粗糙度测量功能。凭借着业内较低的本底噪声和True Non-Contact技术，Park NX-HDM毫成为市场上表面粗糙度测量较为精准的原子力显微镜。

Accurate AFM Scan by True Non-Contact™ Mode

True Non-Contact™ Mode

• 探针磨损更低=高分辨率扫描更长久

• 无损式探针-样品接触=样品变化程度小

• 避免参数依赖

Tapping Imaging

• 探针磨损更快=扫描图像模糊

• 破坏性探针-样品接触=样品受损变化

• 高参数依赖性

Accurate AFM Topography with Low Noise Z Detector

True Sample Topography™ without piezo creep error

• 形貌使用了低噪声Z轴探测器信号

• 宽带宽下0.02 nm的低Z轴探测器噪声

• 前沿和后沿无过冲

• 只需出厂前进行一次校准

Park NX AFM

Conventional AFM

Park NX-HDM features

Fully Automated Pattern Recognition

Automatic Measurement Control

2D Flexure-Guided Scanner with 100 µm x 100 µm Scan Range

Closed-loop XY Scan with Dual Servo System

High Speed Z Scanner with 15 µm Scan Range

Low Noise XYZ Position Sensors

Industry’s Lowest Noise Floor