型号：FF-100/110型
品牌：中科科仪
产地：北京
| 产地： | 中国大陆 |
|---|---|
| 供应商性质： | 生产商 |
| 产地类别： | 国产 |
| 价格范围： | 2万-3万 |
| 仪器种类： | 分子泵 |
| 是否有油： | 无油泵 |
FF-100/110型脂润滑分子泵
分子泵的应用领域：半导体工业在半导体工艺中，分子泵可以用来清洗修饰表面以及实现真空热处理。半导体生产过程中需要极度清洁的工作环境，在此领域中分子泵得到了广泛应用。
产品特点：
任意角度安装，便于系统集成，紧凑型结构
复合抽气结构，高前级压强下仍保持较大抽速
高强度转子，适用于复杂工业过程
使用方便、应用范围广、性能稳定
技术指标：
| 进气口法兰 | DN100 CF DN100 ISO-K | 排气口法兰（ISO-KF） | DN25 |
| 抽速速率（L/s） | N2：110 He：100 H2：50 Ar：100 | 压缩比 | N2：1E8 He：1E2 H2：1E2 Ar：1E8 |
| 极限压强（Pa） | CF：6E-7 ISO-K：6E-6 | 最大连续前级压强（Pa） | 200 |
| 最大前级压强（Pa） | N2：300 | 最大气载量（sccm） | N2：300 He：240 H2：180 Ar：110 |
| 额定转速（RPM） | 42300 | 启动时间（min） | ≤3 |
| 冷却方式 | 水冷或风冷（环境温度5-32℃时可风冷） | 冷却水流量（L/min） | ≥1 |
| 冷却水温度（℃） | ≤25 | 电源电压（VAC） | 220±22 |
| 最大功率（W） | ≤300 | 适配电源型号 | FD-110A |
| 建议前级泵（L/s） | 2 | 重量（kg） | 8 |
