T/QGCML 3233-2024
泛半导体行业真空泵 技术要求

Pan-semiconductor industry vacuum pump technical requirements


标准号
T/QGCML 3233-2024
发布
2024年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/QGCML 3233-2024
 
 
适用范围
本文件规定了泛半导体行业真空泵的术语和定义、主要参数、一般要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存。 本文件适用于泛半导体行业真空泵的生产和检验。

T/QGCML 3233-2024相似标准

T/SHMHZQ 021-2023 半导体真空阀门技术要求规范 NB/T 25077-2017 核电厂真空泵选型技术要求 GB/T 40344.1-2021 真空技术 真空泵性能测量标准方法 第1部分：总体要求 HB 5831-1983 航空用半导体二、三极管技术要求 KS B ISO 16330:2005 往复式变容真空泵和泵装置.技术要求


Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证：京ICP证110310号