高效率加工FIB MI4050-应用文献-

应用领域：其他

检测样品：高效率加工FIB MI4050

检测项目：高效率加工FIB MI4050

参考标准：/

方案摘要

日立新型MI4050型FIB系统可实现高效率加工，束流最大达90nA以上连续可调，自动Cut&See，可以不断观察切割的样子，精度高，稳定性好。采用FIB+SEM的解决方案，两者各自功能独立，可以保证最大使用效率，此外两者的维护周期不重叠，两者各自功能独立，也可以保证最大使用效率。