应用领域：其他
检测样品：摇摆
检测项目：FIB马达台摇摆功能
参考标准：/
日立FIB的马达台摇摆功能可以在样品加工的同时不断改变离子束的加工方向，对消除“Curtaining effect”效果非常明显。
方案摘要
