为FA和研究实验室提供精确的原子力显微镜解决方案

介质和基底的表面粗糙度测量 缺陷检测成像和分析 高分辨率电学扫描模式 针对三维结构研究的侧壁测量*

实现高量率的精确且高重复性的测量

非接触模式能够保持针尖锐度，确保表面粗糙度的精度 非接触模式下的快速缺陷成像 实现三维结构测量的解耦XY扫描系统 通过使用热匹配组件减少系统漂移和滞后现象

低噪声Z检测器可精确测量原子力显微镜表面形貌

业界领先的低噪声Z检测器测量样品形貌 没有边缘过冲或压电蠕变误差的真实样品表面形貌 即便是高速扫描也可以保持精确的表面高度记录 行业领先的前向和后向扫描间隙横向漂移小于0.15%

用真正的非接触扫描方式节省成本

在一般用途和缺陷成像中，具有普通扫描模式10倍或更长的针尖使用寿命 针尖低耗损能够实现长时间高质量扫描 最小化样品损坏或修改