应用领域：电子/电器/半导体，纳米材料
检测样品：超大纳米平板显示器
检测项目：表面测量
XY扫描器由对称的二维挠曲和高强度压电叠层组成，它最小化的面外运动能提供高度的正交扫描，用最快的响应来完成纳米尺度上精确样品扫描。XY扫描器的每个方向是都装有两个对称的低噪声位置传感器，在最大的扫描范围及大样品扫描时能发挥高效的正交性。
方案摘要
