主要参数
 3.1主轴精度 ±0.025um
 3.2系统精度 0.06um
 3.3数据采集 霍尔元件
 3.4测量zei大外径 Ф140 mm（可扩展）
 3.5测量zei小内径 Ф3 mm
 3.6测量zei大高度 200mm（可增高）
 3.7量程范围 ≤30 μm(半径差)
 3.8传感器分辨率 0.01um
 3.9zei大承载 10Kg
 3.10转速 115转/分
 3.112电源、气源压力     电源220V 、50V、 250W     气源压力 ≥0.45MPa