高精密电移台参数指标

     仪器简介：
 

  卓立汉光生产KSA系列高精度电移台采用新结构、新工艺，经过严格检测，关键指标达到国际同类产品水平。该系列电移台产品主要应用于运动直线度要求较高的领域，如飞秒激光试验、激光精密加工和三维扫描测量系统等。

 
 技术参数：
 

  型号
  KSA050 -11/12-X   KSA100 -11/12-X   KSA150 -11/12-X  KSA200 -11/12-X  KSA300 -11/12-X  KSA400 -11/12-X
  行程(mm) 50 /100 /150 /200 /300 /400
  导程(mm) 4 /5
  闭环分辨率(μm) 1
  开环分辨率(μm) 2.5 /3.125
  zei大速度(mm/sec.) 40 /50
  重复定位精度(μm) <3
  回程间隙(μm) <5
  偏摆(&Prime;) <15 /<20 /<25 /<30
  俯仰(&Prime;) <15 /<25 /<30 /<40
  运动直线度(μm) 10 /12 /15 /20
  运动平行度(μm) 10 /12 /15 /20
  步进电机(步距角） 42(1.8°） /57(1.8°）
  工作电流（A） 1.7 /2.4
  中心负载 30 /30 /30 /30 /50