气浮隔振光学平台ZPT系列参数指标

参数指标

■技术指标：
◆固有频率：＜1.5Hz；
◆自动充气，自动平衡，响应时间短，平衡速度快；
◆标配静音无油空气压缩机，工作压力：3～7kgf / cm2
◆气浮支撑：二层结构式气室，三个进口水平调节
阀,四或六个气囊；
◆台面结构：三层夹心结构；
◆上台面：4～6mm厚1Cr13铁磁不锈钢；
◆台面内部支撑：钢制井字形蜂窝状支撑结构；
◆下底面：4～6mm厚碳钢，表面喷黑塑处理；
◆侧板：内层碳钢板，外层为黑色铝塑板，四角用不
锈钢钢板包角；
◆台面厚度：100/200/300mm，详见选型表；
◆平面度：0.02～0.05mm/600mm×600mm，高于国外
同类产品；
◆台面加支架总高度800mm，总高度可调范围：-20～
+30mm；

◆孔距：25mm×25mm，zei外边孔距平台边缘37.5mm;
◆孔径：M6；
◆重量：100mm厚台面约：120Kg/m2
200mm厚台面约：140Kg/m2
300mm厚台面约：167Kg/m2

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