六维超高精密手动位移台NFP-6561/6561L参数指标

参数指标

■技术指标
◆Tx：13mm
◆Ty：13mm
◆Tz：6mm
◆θx：-10°～10°
◆θy：-2°～４°
◆θz：-４°～４°
◆灵敏度：1μm
◆X.Y.Z轴直线度：<3μm