超精密电控平移台-uKSA50/100/150/200系列

           uKSA系列超高精密电控平移台，按照行程分为50、100、150、200mm等四款产品，是我公司正在开发的新型电移台，该系列电移台设计技术指标达到国际水平。如：闭环分辨率0.1μm，全行程范围内直线度、平直度小于6μm，俯仰、偏摆小于15″。该系列产品配合我公司的控制器，定位于超高精度要求的领域应用，如：超精密的激光加工、超精密的三维扫描测量等。