圆光栅规格: 解 析 度:36000PPR(Pulses Per Revolution); 扫描频率:400kHz; 输出信号:正弦信号1Vpp,11μApp / RS422 方波信号输出,建议使用卓立汉 光公司的MC600 型控制器,同时实现闭环信号反馈和运动控制; 应用方向:金属加工设备、半导体设备、半导体设备、生物、医疗设备及各种高 精度旋转要求;