返回 ATGX310系列_光学薄膜... 返回 ATGX310系列_光学薄膜... 
我要纠错
规格及参数
光学系统
标准氘卤组合灯光源
准直照明，积分球接收
接收器：微型光纤光谱仪
波长范围：200-1100
测量范围：0-100%
技术参数
波长准确度 ±0.5nm
波长重复性 ≤0.2nm
光谱带宽 1nm
杂散光 ≤0.05%
透射比准确度 ±0.5%
透射比重复性≤0.5%
ATGX310规格参数表 | ||||
型号 | ATGX310-VIS | ATGX310-XR | ATGX310-DUV | ATGX310-NIR |
测量波长范围 | 400-850nm | 250-1060nm | 190-1100nm | 900-1700nm |
厚度范围 | 50nm-20um | 10nm-100um | 1nm-100um | 100nm-250um |
厚度分辨率 | 0.1nm | 0.1nm | 0.1nm | 0.1nm |
重复性 | 0.3nm | 0.3nm | 0.3nm | 1.0nm |
入射角 | 90度 | 90度 | 90度 | 90度 |
膜厚层数 | 至多10层 | 至多10层 | 至多10层 | 至多10层 |
样品材料 | 透明或半透明薄膜 | 透明或半透明薄膜 | 透明或半透明薄膜 | 透明或半透明薄膜 |
测量模式 | 反射和透射 | 反射和透射 | 反射和透射 | 反射和透射 |
粗糙膜厚测量 | 可以 | 可以 | 可以 | 可以 |
测量速度 | 最短1ms | 最短1ms | 最短1ms | 最短1ms |
是否能在线 | 能 | 能 | 能 | 能 |
光斑尺寸 | 标准：200um或400um | 标准：200um或400um | 标准：200um或400um | 标准：200um或400um |
定制：100um | 定制：100um | 定制：100um | 定制：100um | |
显微镜搭配 | 可以 | 可以 | 可以 | 可以 |
CCD成像 | 可以 | 可以 | 可以 | 可以 |
扫描选择 | 150mmX300mm | 150mmX300mm | 150mmX300mm | 150mmX300mm |
xy扫描平台 | xy扫描平台 | xy扫描平台 | xy扫描平台 | |
真空兼容 | 是 | 是 | 是 | 是 |