样品处理 | X 射线管 | 通道 | 安装 |
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直接进样 100 - 300 毫米的晶片;较小的尺寸可以通过特殊适配器处理 | SST-mAX75,超尖锐端窗射线管,SST-mAX50 为选配 | 最多 24 个固定通道 | 符合 SEMI S2/S8 |
FOUP、SMIF、开放式载盘和手动进样选项可用 | 测量点尺寸 40 和 10 mm;可以测量其他点尺寸 | 最大值(M) 2 个测角仪 | 符合 SECS/GEM |
高达每小时 25 块晶片的样品处理能力 | Zeta 技术 | 高性能硼通道,以获得高灵敏度和处理量 | |
适用于 B、C、N、O、F、Mg、Wsix、TiSix、CoSix 的专用高性能通道,具有高灵敏度和高处理量 | |||
氩气/甲烷混合气体 | |||
流气探测器 | |||
封闭式计数器 | |||
扫描仪 10 º-100 º 2θ | |||
带有 300 µm 铍窗的闪烁式探测器 |