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产品型号： UHV ALD
品牌：原速科技
产品产地：深圳
产品类型：国产
原制造商：原速科技
状态： 在售
厂商指导价格：
未提供
英文名称： UHV ALD
上市时间：
2020-05-16
优点： 工艺温度：温度范围：RT~400°C 精度：土1°C（可定制）；前驱体路数：支持6路前驱体气路（可定制)，包含固、液态前驱体源瓶
参考成交价格：
50~100万元[人民币] 查中标价
422