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准分子激光器：DC 4000
准分子激光器是传统的气体激光器，由于波长短（紫外），短脉冲宽度，高脉冲能量，是激光器家族不可替代的品种！应用上，准分子激光器在脉冲沉积镀膜（PLD），光纤光栅刻写，LASIK，光刻，微纳加工等方面占主导的地位。
DC 4000系列技术参数：
激光介质 | ArF | KrF |
波长 (nm) | 193 | 248 |
最大脉冲能量 (mJ) | 20 | 40 |
最大重复频率 (Hz) | 4000 | |
最大平均功率 (W) | 80 | 160 |
脉冲能量稳定度(sigma, %) | < 2 | |
光斑尺寸 (VхH, mm) | 14 х 2.5 | |
光束发散角(FWHM, mrad, VхH) | 3.5 х 1 | |
脉冲持续时间 (FWHM, ns) | 17 – 20 | |
冷却方式 | 水冷 | |
重量 (kg) | 360 | |
尺寸 (LхWхH, mm) | 1890 x 810 x 1840 | |
电源 | 220/380 V, 50 Hz, < 7000 VA | |
DC 4000主要特点：
非常高的重复频率高达6千赫
高平均功率达160w
金属陶瓷设计
使用寿命长
能量稳定性好特性
HV固态开关
功率稳定
计算机控制
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