波长(nm)

IR

Green

UV

DUV

最高光束质量M2

1.1

1.1

1.1

1.1

最高平均功率(W)

400

200

90

15

最大重复频率(kHz)

100

100

100

100

最大脉冲能量(mJ)

1400

700

340

170

最小脉宽(ns)

12

12

12

12

能量稳定性(%)rms

1

2

2

3

时间稳定性(ns)

20

20

20

20

偏振度

＞100:1

＞100:1

＞100:1

＞100:1

光束椭圆度(远场)%

＜10

＜10

＜10

＜10

光斑直径(mm)

3

3

3

3

光束发散角（μrad）

500

250

226

226

光束指向稳定性（μrad）

＜50

＜50

＜50

＜50

全程预热时间（min）

15

20

30

30

备机状态预热

8

15

30

30

          设备环境要求

供电

90-264V,180-264V，50/60Hz

供电最大功率

1.2kW-3.6KW

冷却

230，208, 115, 110V,50/60Hz

冷却功率

0.8KW-3.6KW

工作环境温度

15-35℃

相对湿度，无结露

10%-80%

           重量&尺寸

激光头尺寸

650mm*298mm*150mm

激光头重量

＜50kg

供电及水冷尺寸

19“ *(10HU-15HU)*650mm

供电及水冷重量

62Kg-110Kg