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脉冲激光器GX-系列
GX-系列是具备高功率和高脉冲能量电光调Q的InnoSlab激光器。
GX系列技术参数：
型号 | GXxxx-1 | GXxxx-2 | GXxxx-3 | GXxxx-4 |
波长(nm) | IR | Green | UV | DUV |
最高光束质量M2 | 1.1 | 1.1 | 1.5 | 2 |
最高平均功率(W) | 800 | 400 | 200 | 30 |
最大重复频率(kHz) | 100 | 100 | 100 | 20 |
最大脉冲能量(mJ) | 120 | 60 | 30 | 5 |
最小脉宽(ns) | 6 | 5 | 5 | 5 |
能量稳定性(%)rms | ＜2 | ＜4 | ＜4 | ＜4 |
时间稳定性(ns) | ＜5 | ＜2 | ＜2 | ＜2 |
偏振度 | ＞1:100 | ＞1:100 | ＞1:100 | ＞1:100 |
光束椭圆度(远场)% | ＜10 | ＜10 | ＜10 | ＜10 |
光斑直径(mm) | 3 | 3 | 3 | 3 |
光束发散角（μrad） | 500 | 250 | 250 | 225 |
光束指向稳定性（μrad） | ＜50 | ＜60 | ＜50 | ＜50 |
全程预热时间（min） | ＜15 | ＜30 | ＜30 | ＜30 |
备机状态预热 | ＜10 | ＜15 | ＜30 | ＜30 |
设备环境要求 | ||||
供电 | 90-264V,50/60Hz或180-264V,50/60Hz | |||
供电最大功率 | 4kW-8kW | |||
冷却 | 230，208, 115, 110V,50/60Hz 或 460/280V, 50/60Hz | |||
冷却功率 | 4kW-8kW | |||
工作环境温度 | 15-35℃ | |||
相对湿度，无结露 | 10%-80% | |||
重量&尺寸 | ||||
激光头尺寸 | 675mm*360mm*150mm | |||
激光头重量 | 70kg | |||
供电及水冷尺寸 | 19“ *18HU*700mm | |||
供电及水冷重量 | 100kg | |||
GX系列主要特点：
光束质量: M2 < 2
脉冲能量达120mJ
脉宽可小于1ns
峰值功率达10 MW
重复频率可达150kHz
平均功率达800W
波长1064、 532、 355、266nm
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