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产品参数
| 电子束系统 | 电子枪类型 | 高亮度肖特基场发射电子枪 |
| 分辨率 | 1.2 nm@15 kV | |
| 加速电压 | 20 V ~ 30 kV | |
| 离子束系统 | 离子源类型 | 液态镓离子源 |
| 分辨率 | 3 nm@30 kV | |
| 加速电压 | 500 V ~ 30 kV | |
| 样品室 | 真空系统 | 全自动控制，无油真空系统 |
| 摄像头 | 三摄像头 | |
| （光学导航+样品仓内监控x2） | ||
| 样品台类型 | 五轴机械优中心样品台 | |
| 样品台行程 | X=110 mm，Y=110 mm，Z=65 mm | |
| T: -10°~+70°，R: 360° | ||
| 探测器和扩展 | 标配 | 镜筒内电子探测器 |
| 旁侧二次电子探测器（ETD） | ||
| 选配 | 插入式背散射电子探测器(BSED) | |
| 插入式扫描透射探测器（STEM） | ||
| 能谱仪（EDS） | ||
| 背散射衍射（EBSD） | ||
| 纳米机械手 | ||
| 气体注入器 | ||
| 等离子清洗 | ||
| 样品交换仓 | ||
| 轨迹球&旋钮控制板 | ||
| 软件 | 语言 | 中文 |
| 操作系统 | Windows | |
| 导航 | 光学导航、手势快捷导航 | |
| 自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 |