飞秒微加工系统参数指标

飞秒激光加工系统

超高精度紫外飞秒激光高速加工系统配置紫外飞秒激光放大器作为加工光源。该系统以高速扫描振镜耦合4f光学系统通过物镜在物镜扫描视场内进行高速高精度加工。同时，该系统利用二维高精度空气轴承直线电机位移平台进行大尺寸连续微纳结构的激光扫描及在全行程内对扫描范围受限的振镜扫描进行耦合，使得激光超精密加工中高速与大范围两个需求同时得以满足。该系统适用于厘米级以上加工范围和纳米级加工精度的跨尺度结构制造。

系统主要特性：

超高精度加工（特征尺寸小于100nm）

跨尺度结构制造

飞秒激光波长可选：1030nm/515nm/343nm

应用：

表面微结构刻写

光波导直写

微纳钻孔

脆性材料加工

微结构制作

飞秒激光双光子聚合