【技术特点】-- 超短脉冲闪光法薄膜热性能测定仪

二、特点

（1）超短激光脉冲

采用YAG单脉冲激光器，波长1.06μm，激光光斑直径6mm，激光脉冲宽度5～7ns，激光能量可调zei大为450mJ。采用超短激光脉冲进行薄膜材料的热扩散率测试，实现了激光加热脉冲时间远小于高导热薄膜样品内温度传播特征时间，满足了激光脉冲法测试模型的要求。

对于薄膜材料，普通激光脉冲法测试设备中的宽激光脉冲会给薄膜试样带来损伤，损伤厚度会达到微米量级，这会严重改变被测薄膜试样自身的热性能参数，而超短激光脉冲则规避了这个问题，由此可以实现更加真实和准确的薄膜材料热性能参数测试，解决了厚度为微米量级薄膜材料厚度方向的热性能测试难题。

另外，激光器采用全封闭式的内循环水冷系统，外循环采用风冷技术，避免了外接冷却水的麻烦。

（2）高速背面温升测量

采用光伏型液氮冷却碲镉贡红外探测器测量激光脉冲照射后薄膜试样背面的温度快速上升，探测器峰值响应波长为10um，响应时间为10ns，光敏元直径1mm。采用红外增透的锗透镜将直径6mm试样区域的背面温升红外信号聚焦到探测器光敏元上，配合响应的前置放大器和数据采集器获得完整的薄膜试样背面温升曲线。整个放大器和数据采集器放置在电磁屏蔽盒内降低激光发射时对信号的干扰。

【技术特点对用户带来的好处】-- 超短脉冲闪光法薄膜热性能测定仪

【典型应用举例】-- 超短脉冲闪光法薄膜热性能测定仪