赛默飞Metrios 6扫描透射电子显微镜（(S)TEM）参数指标

全自动、高生产率的半导体计量工作流程

Thermo Scientific Metrios 6 （S）TEM 是新一代全自动计量解决方案，可提高生产率和数据质量，适用于大批量 TEM 计量。Metrios 6 （S）TEM 具有全新设计的硬件和基于机器学习的功能，与上一代解决方案相比，生产率平均提高了 20%。

Metrios 6 （S）TEM 包括新的智能载物台、Ultra-X EDS 探测器、高亮度 X-CFEG 源选项和智能自动化软件。这种组合通过数据完整性、快速元素分析和免配方自动化提高了生产力，可实现可扩展的实验室操作和资源优化。