半导体制冷冷台Coolst...

半导体制冷冷台Coolstage技术特点

参考成交价格: 30~50万元[人民币]
技术特点

【技术特点】-- 半导体制冷冷台Coolstage

Coolstage是一种应用于扫描电镜、低真空(LV)或可变压力(VP)扫描电镜应用的冷台,主要用于电子束敏感样品观察以及在在真空环境下容易升华(或脱水)样品的观察。

Coolstage 是帕尔帖驱动的冷却平台,适用于扫描电子显微镜 (SEM)、低真空 (LV) 或变压 (VP) 应用。提供三种型号,以满足不同的用户需求。



主要特点

  • 温度范围:-30°C 至 +50°C,300 Pa

  • 独立冷却 – 无需额外的外部冷却水

  • 温度精度 +/- 1.5°C 或 2% – 以较大者为准

  • 最小的图像漂移

  • 制冷和制热速率高达每分钟30°C

  • 键盘控制 – 同时显示实际温度和目标温度

  • 随附 SEM 室端口进料 – 订购时指定


Coolstage 是帕尔帖驱动的 SEM 冷却平台,适用于扫描电子显微镜 (SEM)、低真空 (LV) 或变压 (VP) 应用。对于在环境温度下可能敏感、容易受到光束损坏或在环境温度下可能“升华”(失水)的样品,载物台可以冷却到零度以下的温度。


三款产品

Coolstage 有三个版本:标准版、增强版和超高版,旨在满足不同的试样要求。

标准 Coolstage 由一个单级 Peltier 设备组成,其上安装了热隔离样品架和双温度传感器。Coolstage组件使用显微镜专用的转接板安装在SEM载物台上。冷却管和电线连接到 SEM 馈通法兰。外部组件包括循环冷水机电源箱和用于数字温度读数和控制的紧凑型键盘。

Quorum 范围内的替代产品:

  • 对于比帕尔帖冷却所能提供的更低的温度?PP3005 SEMCool 提供接近液氮的温度(低至 -190°C)

  • 对于使用试样负载锁定的液氮温度冷却?请参阅:PP3006 CoolLok

  • 有关用于 SEM 和 FIB/SEM(包括快速冷冻、真空转移、冷压裂、升华和溅射)的完整低温冷冻制备系统,请参阅:PP3010T


紧凑、高效的冷却和温度控制

Standard Coolstage 的温度范围为 -30°C 至 +50°C,功率为 300 Pa。试样架使用一个小型的、独立的闭环循环冷却器进行水冷,该冷却器通常位于距离 SEM 约 2m 的位置。微处理器控制和监测冷阶段的温度。一个小键盘用于设置所需的温度并显示目标和当前温度。

样品架的设计可最大限度地减少由于温度变化引起的图像漂移,从而在高放大倍率下提供稳定的图像。集成的 RS-232 接口允许从 SEM 设置和读取温度。


快速样品更换

要更换试样,必须提高试样台温度,以确保试样或试样台上不会形成冷凝水。键盘控制器有一个方便的“交换”按钮,可自动将试样架温度提高到 +5ºC 至 +20ºC 之间的可编程温度。 典型的冷却和加热速率高达每分钟 30ºC。

不使用时,系统的主要部件可以留在原地,当恢复到“正常”使用时,冷却阶段很容易被移除。为Coolstage载物台组装和真空馈通提供了一个方便的存储块,以便在系统不使用时使用。


【技术特点对用户带来的好处】-- 半导体制冷冷台Coolstage


【典型应用举例】-- 半导体制冷冷台Coolstage


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