Helios 5 Hydra DualBeam等离子聚焦离子束扫描电子显微镜参数指标

• 在最佳 WD：

• 1 kV 时 0.7 nm

• 500 V (ICD) 时 1.0 nm

• 在重合点：

• 15 kV 时 0.6 nm

• 1 kV 时 1.2 nm

• 电子束电流范围：在所有加速电压下 0.8 pA 至 100 nA

• 加速电压范围：350 V – 30 kV

• 着陆能量范围：20* eV – 30 keV

• 最大水平射野宽度：4 mm WD 时 2.3 mm

高性能 PFIB 色谱柱，具有独特的电感耦合等离子 (ICP) 源，支持四种离子种类，并具有快速切换能力

• 离子种类（初级离子束）：Xe、Ar、O、N

• 切换时间<10 分钟，仅需软件操作

• 离子束电流范围：1.5 pA 至 2.5 μA

• 加速电压范围：500V – 30 kV

• 最大水平射野宽度：在等离子束重合点处为 0.9 mm 

重合点时的氙离子束分辨率

• <使用首选统计方法在 30 kV 时为 20 nm

• 使用选择性边缘方法在 30 kV 时<10 nm

• 在分析 WD 时的 E 和 I 束重合点 (4 mm SEM)

• 端口：21

• 内部宽度：379 mm

• 集成式等离子清洁器

• Elstar 色谱柱镜筒内 SE/BSE 探头（TLD-SE、TLD-BSE）

• Elstar 色谱柱柱内 SE/BSE 探头 (ICD)*

• Everhart-Thornley SE 检测器 (ETD)

• 查看样品/色谱柱的 IR 摄像机

• 用于二级离子 (SI) 和二级电子 (SE) 的高性能腔室内电子和离子探头 (ICE)

• 腔室内 Nav-Cam 样品导航摄像机*

• 可伸缩、低电压、高对比度、定向、固态反向散射电子探头 (DBS)*

• 集成的等离子束电流测量 

灵活的五轴电动载物台：

• XY 范围：110 mm

• Z 范围：65 mm

• 旋转：360°（无限）

• 倾斜范围：-38° 至 +90°

• XY 重复性：3 μm

• 最大样品高度：与共心点间距 85 mm

• 0° 倾斜时的最大样品重量：5 kg（包括样品架）

• 最大样品尺寸：完全旋转时 110 mm（也可以是更大的样品，但旋转有限）

• 计算中心旋转和倾斜

高精度五轴电动载物台，配有压电驱动的 XYR 轴

• XY 范围：150 mm

• Z 范围：10 mm

• 旋转：360°（无限）

• 倾斜范围：-38° 至 +60°

• XY 重复性：1 μm

• 最大样品高度：与共心点间距 55 mm

• 0° 倾斜时的最大样品重量：500 g（包括样品架）

• 最大样品尺寸：完全旋转时 150 mm（也可以是更大的样品，但旋转有限）

• 计算中心旋转和倾斜