规格
材料科学规格
Helios 5 PFIB CXe DualBeam | Helios 5 PFIB UXe DualBeam | |
电子光学系统 |
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电子束分辨率 |
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电子束参数空间 |
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离子光学系统 |
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检测器 |
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载物台和样品 | 灵活的 5 轴电动平台:
| 高精度,5 轴电动样品台(带 XYR 轴),压电驱动
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*可选配,取决于配置
半导体规格
Helios 5 PFIB CXe DualBeam | Helios 5 PFIB UXe DualBeam | Helios 5 PFIB HXe DualBeam | |
应用 | 先进的包装和显示研发和故障分析 | 先进的内存故障分析 | 先进的逻辑故障分析 |
电子光学系统 |
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电子束分辨率 |
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离子光学系统 |
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载物台和样品 | 灵活的 5 轴电动平台:
| 高精度,5 轴电动样品台(带 XYR 轴),压电驱动
| 5 轴全压电陶瓷驱动 UHR 载物台
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