电子显微镜用主动隔振台　αL4X-911R1参数指标

规格

外形尺寸 ( W × D × Hmm ) 900 × 1100 × 152 ( 气浮后 155 )

产品重量 ( kg ) 320

负载允许值 ( kg ) 1000

工作环境 清洁干燥空气 ( 0.6 MPa以上 )

电源 1只 ( 单相 100 - 240V 50/60Hz )

安装面 ( mm ) 2 mm以下

参考招标参数

主动式减震台具体参数如下：

1.实现全振动频率范围内的衰减，无共振频率，无增幅现象。

2.主动隔振单元：内含加速度传感器，位移传感器及空气伺服阀。

3.减振方式：气动执行器和直线马达，来实现振动衰减。

4.控制方式：反馈及前馈控制的双重主动控制。

5.控制自由度：6自由度。

6.主动式减震范围：1.0 Hz-100 Hz。

★7.减振指标：1 Hz， -10 dB；2 Hz， -15 dB； 3 Hz～10 Hz， -26 dB； 10 Hz， -26 dB。

★8.加速度传感器：

8.1频率范围：DC-400 Hz；

8.2最小分辨率： 1 10-6 m/sec2；

8.3最大耐冲击参数：1000 m/sec2。

★9.位移传感器：

9.1最小分辨率： 5 μm；

9.2行程范围：1-5 mm；

9.3载荷重量： 1000 kg。

10.外形尺寸：不小于900 1100（长 宽）mm。