MM3A-EM探针站参数指标

技术参数

• 总高度：31毫米

• 总宽度：180毫米

• max样本尺寸：70 mm-70 mm，max高度10 mm

• 重量：~1200克

三轴微型操作器

A=左/右B=上/下C=进/出

• 工作范围：A=240°，B=240°，C=12mm

• 分辨率A:7 x 10–9 rad（0.5 nm）

• 分辨率B:7 x 10–9 rad（0.2 nm）

• 分辨率C:<0.05 nm

• 低漂移：1纳米/分钟

低容量、低电流测量

• 噪音：25 fA@1 Hz

• 绝缘泄漏电流：<50 fA/V

• 信号导体电阻：<5Ω

• max电压：100 V

• max电流：100 mA

变电站

• 行程X和Y：28.5毫米

• 速度：highest 2 mm/s

• 分辨率：＜0.5 nm

• 重复性：50 nm（可选）

• 角度偏差：<1µrad

• 负载：500 g

• 可选Z驱动范围：3毫米

• Z提升能力：25 g

• 温度范围：273 K至353 K

• 特高压版本：273 K至393 K

• min压力：10-7毫巴

• 超高压版本：2 x 10-10毫巴

• 变电站安装：4 x 3.2 mm孔

• 样品安装：夹子或2 x M3孔

产地：德国