日本电子JSM-IT700HR 触摸屏控制热场发射扫描电子镜参数指标

参数指标

主要参数

分辨率	高真空模式：1.0 nm (20 kV)　3.0 nm (1.0 kV)，分析时：3.0 nm (15 kV　入射电流 3 nA)，低真空模式：1.8 nm (15 kV　BED)
放大倍率	×5 ～ ×600,000
电子枪	浸没式热场发射电子枪
加速电压	0.5 kV ～ 30 kV
入射电流	数pA ～ 300 nA
低真空范围	10 Pa ～ 150 Pa
最大样品尺寸	200 mm直径×75 mm高、200 mm直径×80 mm高 ^※1、32 mm直径×90 mm高 ^※2
样品台	全对中，X：125 mm　Y：100 mm　Z：80 mm 傾斜：－10 ～ 90°　旋转：360°
OS、显示器	Microsoft^® Windows^®10 64bit， 23.8”触摸型
真空系统	全自动TMP：1台　SIP：2台　RP：1台

■ 选配件

1. 低真空二次电子检测器 (LVSED)

2. 能谱仪 (EDS)

3. 波谱仪 (WDS)

4. 电子背散射衍射检测器 (EBSD)

5. 气锁室 (LLC)

6. 样品台导航系统 (SNS)

7. 操作面板

8. 3D测长软件

9. 操作台

10. UPS

11. 空压机