·定量分析反应器内的瞬态和分布
·高时间分辨和最小的扰动
·对反应器内气体成分可3D成像
·16路气体进样系统·软件控制样品蒸汽位置·Z轴可控制进样·内置热耦测量样品温度
·轴向驱动: 0~300mm
·空间分辨: 0.1mm