MAXIM二次离子/溅射中性粒子质谱仪参数指标

MAXIM 二次离子溅射中性粒子质谱仪可分析二次阴、阳离子动态和中性粒子，所具备的的30°接受角可形成样品粒子平面，应用于SIMS和SNMS的光学采样。

特点

·光栅控制，增强深度分析能力
·所有能量范围内，离子行程的最小扰动，及恒定离子传输
·灵敏度高 / 稳定的脉冲离子计数检测器

参数

·质量数范围： 300amu，500amu，1000amu

·检测器： 离子计数探测器、正负离子探测器、10⁷ cps

·质量过滤器： 3F四级杆

·杆直径： 9mm

·最高加热： 250℃

·离子源： 电子轰击，可用于SNMS和RGA的单根灯丝