HPR-20 R&D研究级在线气体分析质谱仪参数指标

参数

·质量数范围：  1～300 amu（标准配置），500、1000amu（选配）

·响应速度：    300ms内对于气体浓度的变化做出反映

·扫描速度：    100amu/s

·最小扫描步阶：0.01amu

·取样压力：    100mbar～2bar（标准配置）

                        1mbar～30bar（选配）

·检测浓度：    5ppb～100%

·稳定性：      24h以上，峰高变化小于±0.5%

·进样流量：    1～20sccm