IMP-EPD 等离子体刻蚀终点检测仪参数指标

参数：

• 高灵敏度的 SIMS/MS，带脉冲离子计数检测器
• 三级过滤四极杆，标准配置质量数为300 amu
• 稳定性(24h以上，峰高变化小于 ±0.5%)
• 通过 RS232、RS485或以太网， 软件MASsoft控制
• 程控DDE, 平行数字式I/O, RS232通讯