IG5C 铯离子枪参数指标

参数

·能量范围：       500eV ~ 5KeV

·最大电流：      200nA

·最小光斑尺寸：  20μm

·离子源寿命：    一般在500小时

·法兰规格：      斜楔法兰DN-35-CF

·功率：          8 W