TPD /TDS 超高真空热脱附质谱系统是一台紧凑的台式程序脱附气体分析装置,专为超高真空热脱附研究而设计的。
TPD超高真空热脱附工作站具有多窗口超高真空室,并与样品加热台耦合到高精度的HAL 3F / PIC脉冲离子计数的三重过滤质谱仪,具有极高的灵敏度和时间分辨率。
TDS-热脱附谱
·带有观测窗和样品加热台的真空泵
·工作站含有操作软件,可自动控制样品温度
·TPD常规分析,包括质谱峰的积分和反褶积计算等
· 密闭、自动装样器
·智能操作软件控制实验操作
参数
·带脉冲离子技术检测器的三级过滤四极质谱仪(Hiden 3F/PIC)
·质量数范围: 1~300、510、1000amu
·快速质谱数据采集: >500数据点/秒
·样品可加热到1000℃
• 薄膜中气态杂质成分分析
• 催化热分析研究
• 仿生感知和微机电系统技术研究
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