典型应用 

CMP被广泛应用于后端IC制造，它做为一种可实现的技术也容易适用于试生产测试、MEMS制造，特别是多晶硅表面显微机械加工、Opto-MEMS 和 Bio-MEMS 封装、装配甚至制造。

Logitech的Tribo CMP是一个高质量立式CMP设备，应用在进行中试生产测试的R&D环境zei为理想，过去这种中试测试通常非常耗时而且昂贵。Tribo新的特性及功能，包括先进的传感器阵列、更高的使用性和容量，可以对更现实的生产环境进行复制，使得Tribo CMP系统能完美的适用于晶圆制造厂和其它大规模生产的公司。