质量分辨率： ＞800
质量分析范围：1-2500
原始束流或速能量： 30 kV
仪器种类：飞行时间
这款产品集成了TESCAN公司的聚焦离子束扫描电镜和Tofwerk公司提供的飞行时间二次离子质谱仪的所有特征。
一个发射源，正交提取，中等质量分辨率二次离子飞行时间质谱仪（TOF-SIMS) 安装在双束聚焦（离子/电子）扫描电镜上，可以高效益、低成本的完成二次离子元素扫描。在深度上，可以得到几纳米的分辨率是小菜一碟。所以，我们就可以获得三个维度上纳米级别的化学扫描结果。
示例：晶界
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