【技术特点】-- 英国Ellutia HPGA系列高纯气/特气分析仪

高纯气体应用领域极广，无论是药物分析实验室亦或是硅芯片制造厂，都需要使用高质量高纯度气体。如在半导体工业，高纯氮，氢，氩，氦可作为载气，保护气和配制混合气的气体来源。

Ellutia高纯气/特气分析仪可提供一整套气体混合物的分析方法，检测限可达ppb级（<50ppb），既可用于检测常见的He、H2，Ar，N2，CO2中的微量杂质，还可分析特种气体如HCL，SiH4，BCL3，N2O,CF4等。根据不同应用要求，实现客户化定制。

产品特点

实现多种气体高灵敏度检测

氦气吹扫，避免与空气接触所引起的外界污染

精密防泄露装置，避免潜在污染

配备高纯气吸气剂，去除微量杂质

尺寸规格小，不占据实验室空间

高纯气体检测仪：

应用难点：

高纯气体应用领域极广，无论是药物分析实验室亦或是硅芯片制造厂，都需要使用高质量高纯度气体。如在半导体工业，高纯氮，氢，氩，氦可作为载气，保护气和配制混合气的气体来源。

高纯气体中的微量杂质分析是色谱分析领域的难点。气体制造商必须确保所供应的气体符合技术规格，确保气体中主要微量杂质极低的检测限。常规检测器中，因受到检测灵敏度或是检测气体种类数量的限制，均无法满足实验室用户对高纯气体的

分析要求。

解决方案:

Ellutia高纯气体分析仪可提供一整套气体混合物的分析方法和应用方案，检测限可低至ppb级（<50ppb）。此外，根据不同应用要求，对本套系统进行调整或升级，实现客户化定制功能。

微 量 杂 质：

高纯气体应用领域极广，无论是药物分析实验室亦或是硅芯片制造厂，都需要使用高质量高纯度气体。如在半导体工业，高纯氮，氢，氩，氦可作为载气，保护气和配制混合气的气体来源。

高纯气体中的微量杂质分析是色谱分析领域的难点。气体制造商必须确保所供应的气体符合技术规格，确保气体中主要微量杂质极低的检测限。常规检测器中，因受到检测灵敏度或是检测气体种类数量的限制，均无法满足实验室用户对高纯气体的分析要求。

Ellutia高纯气体分析仪可提供一整套气体混合物的分析方法和应用方案，检测限可低至ppb级（<50ppb）。此外，根据不同应用要求，对本套系统进行调整或升级，实现客户化定制功能。

标准配置中，此套系统可以检测气体中几类主要杂质，如下表所示：

H2 Ar/O 2 N2 CH4 CO CO2

He √ √ √ √ √ √

H2 × √ √ √ √ √

Ar √ × √ √ √ √

N2 √ √ × √ √ √

CO2 √ √ √ √ √ ×

【技术特点对用户带来的好处】-- 英国Ellutia HPGA系列高纯气/特气分析仪

【典型应用举例】-- 英国Ellutia HPGA系列高纯气/特气分析仪