技术指标：

• 残留污染物浓度:

- NO, NO2, NOx, SO2, O3, H2S :<0.5 ppb
- CO : < 25 ppb (选配涤除器)
- 碳氢化合物: < 20 ppb (选配涤除器)

• 流量: 1-20 Nl/min at 2.07 bars (30 psig)

• 露点: < -30°C 流量为10 Nl/min(< -10°C 流量为20 Nl/min)

• 碳氢涤除器温度: 可调整为300°C到480°C，可增强总碳氢的涤除能力