返回 D07-7CM型 质量流量计
D07-7CM型 质量流量计参数指标
技术参数：
满量程流量范围（N2） | 5SCCM～10SLM |
控制范围 | 2～100％F.S. |
准确度 | ±1.5％F.S. |
线性 | ±1％F.S. |
重复精度 | ±0.2％F.S. |
响应时间 | ≤10sec |
工作温度范围 | 5～45℃ |
工作压差 | ＜0.01MPa |
耐压 | 3MPa |
漏气率 | 1×10-8atm.cc/sec He |
密封材料 | 氟橡胶（或氯丁橡胶） |
电插头形式 | DB15 pin(Female) |
接头选择 | VCR | 1/4”或φ4hose、φ6hose |
Swagelok | 1/4”或φ6、φ3 |
抗电磁干扰 | CE |
重量 | 0.92Kg |
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