技术参数:
质量数范围:1-100 amu,1-200 amu,1-300amu 响应时间:ms 级zei小检测分压:5×10-11 Torr(FC) 5×10-14 Torr(CDEM)检出限:≤10ppm(FC)操作范围:从常压到超高真空操作温度:≤70℃取样压力:≤5 bar(有特殊需求者可订制)质量分析器:四极杆(Quad) 检测器:法拉第筒(FC),电子倍增器(CDEM)可选离子源:电子轰击 (EI)源;